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深圳市普拉斯瑪自動(dòng)化設(shè)備有限公司
聯(lián)系人：鄒軍
手機(jī)：13823299736
電話：86-755-23287290
傳真：86-755-23287348
網(wǎng)址：www.239hg.com
地址：深圳市寶安區(qū)松崗街道沙浦社區(qū)洋涌工業(yè)區(qū)八路2號(hào)碧桂園廠房6棟305
等離子清洗機(jī) BP980
設(shè)備規(guī)格:
Item | Specification | Remark |
制程規(guī)劃 | 手動(dòng)將產(chǎn)品或載盤，放入腔體中的多層電極架中，高頻電源系統(tǒng)，對(duì)于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產(chǎn)品進(jìn)行真空等離子表面改質(zhì) | |
傳送方式 | 手動(dòng)上下料（料盒） | 可放置12個(gè)料盒/CT約400秒 |
腔體 | 材質(zhì)：SUS 304 | |
內(nèi)腔容積約110L（W:450mm*H450mm*D540mm） | ||
強(qiáng)化安全玻璃真空腔體窗口 ，抗紫外線及高頻輻射 | ||
真空泵 | 真空泵萊寶D-60T+鮑斯BSJ-70羅茨泵 | 雙級(jí)泵組 |
制程壓力10~100pa之間 | ||
壓力量測范圍10-3~1 torr | ||
制程氣體 | 混和氣體：95% Ar+5%H2 | 氣體用量約：5~40sccm之間 |
質(zhì)流量控制SEVEN START D70 | ||
等離子電源 | 型式：射頻RF Generator（含自動(dòng)匹配器） | |
頻率：13.56MHz | ||
功率：0-600Watt | ||
等離子效應(yīng) | 載盤（電極）間互相電容感應(yīng)式產(chǎn)生區(qū)域等離子 | |
氣體流場分布 | 門板前端進(jìn)氣口均勻?qū)胫瞥虤怏w | |
有效層流，提升等離子均勻度，由腔體后方排氣 | ||
安全聯(lián)鎖 | 當(dāng)腔體門打開，真空PUMP閥件關(guān)閉與RF電源無法啟動(dòng) | |
緊急停止開關(guān)EMS | 使用鎖定類型緊急停止開關(guān)和放置在方便操作的區(qū)域 | |
控制 | PLC+威倫觸摸屏/3級(jí)密碼 |
廠務(wù)需求:
項(xiàng)目 | 規(guī) 格 | |
電 力 | 相 （Phase）/ 線 （Line） | 3 / 4 |
電壓（Volt)）/ 頻率（Hz） | 380 V/ 50Hz | |
功率（Power） | 4.5KVA Grounding | |
壓縮空氣 | CDA | 破真空用/氣動(dòng)組件需求 |
壓力 Pressure （kg/cm2） | 6 | |
流量 flow rate （LPM） | 80 | |
管徑 Pipe dia.（mm） | 外徑6mm內(nèi)徑4mm | |
排 氣 | 內(nèi)循環(huán) | 安裝原廠油氣過濾與回收套件 |
管徑 Pipe dia.（inch） | DN40 | |
外型尺寸 （Outline） | 寬*高*深（mm） | 約1100*1600*1060（含三色燈） |
運(yùn)轉(zhuǎn)重量（kg） | 約550 KGW | |
軟件應(yīng)用：
1 整合方式PLC程序控制
2 觸控式顯示面板控制(臺(tái)灣威倫)。
3 最大5組製程參數(shù)預(yù)設(shè)及儲(chǔ)存。
受訓(xùn)內(nèi)容： (先期廠商端簡易驗(yàn)收/廠商端受訓(xùn))
1 訓(xùn)練程序表：安裝，校正，操作，故障原因追查，保養(yǎng)及維修。
2 訓(xùn)練時(shí)間及地點(diǎn)：在安裝機(jī)地點(diǎn)或客戶端4小時(shí)教育訓(xùn)練。
